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报道:中芯国际正在测试由上海初创公司宇量升制造的深紫外光刻机
【报道:中芯国际正在测试由上海初创公司宇量升制造的深紫外光刻机】9月17日早盘,光刻机概念股高开,盘中持续走强。个股方面,永新光学、波长光电双双涨停,国林科技、苏大维格、茂莱光学、新莱应材、蓝英装备等涨幅领先。有报道称,两位知情人士透露,中芯国际正在测试由上海初创公司宇量升制造的深紫外光刻机。正在测试的这款机器采用的是浸没式技术,类似于阿斯麦采用的技术。一位知情人士表示,尽管中芯国际的试验初步结果令人鼓舞,但目前尚不清楚该机器是否以及何时能用于大规模芯片生产。(上证报)