【至纯科技:湿法设备在28纳米节点设备开发已完成 取得部分先进制程节点工艺订单】至纯科技在互动平台表示,目前湿法设备在28纳米节点设备开发已经全部完成,且全工艺机台均有订单,在更先进制程节点,也已取得部分工艺订单,尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台,公司交付和验证进度都在国内领先。